深紫外光刻机

中国国产浸没式深紫外光刻机启动小规模批量生产

上海一家国营企业启动国产浸没式深紫外光刻机小规模生产，预计年内交付5台，2027年产量提升至20台，可能挑战阿斯麦在中国的市场地位。