中기업, 美 제재 속 '자체 개발' 반도체 노광기술 전시

중국이 미국의 첨단 반도체 장비 수출 통제에 맞서 자립·자강을 강조하는 상황에서 한 중국 업체가 차세대 노광장비 모형을 선보였다고 밝혔다.

9일(현지시간) 중국 업체 상하이마이크로전자장비(SMEE) 소셜미디어에 따르면 이 업체는 5∼10일 열리는 제9회 중국국제수입박람회에서 자체 연구개발(R&D)한 '차세대 전(前)공정 건식 노광장비 범용기술 플랫폼 모형'을 전시했다고 말했다.

그러면서 이는 중국의 전공정 노광장비 자주화 성과를 보여주는 사례라고 주장했다.

업체 측은 고정밀 대물렌즈와 조명시스템을 비롯한 핵심 요소 산업망을 자주적으로 통제 가능하며 안정적인 공정 적용 능력과 생산라인에서의 가동 신뢰성도 갖췄다고 말했다.

또 "현재 중국산 전공정 건식 노광장비의 형상 성능은 이미 국제 선도제품 수준과 비슷하고 중첩 정밀도·생산효율은 국제 기준을 바짝 추격하고 있다"고 밝혔다.

업체 측은 "여러 대의 설비가 이미 중국 내 주요 로직·메모리 반도체 양산에서 오랫동안 안정적으로 가동 중"이라며 누적 1천만장 이상의 웨이퍼를 처리했고 설비 유효 가동률은 92%를 넘어섰다고 밝혔다.

이어 이를 통해 자주적 기술 통제, 수입 장비의 국산화 대체, 산업망 안보 신뢰성 등에서 우위를 갖췄으며 "반도체 산업의 발전 수요를 전면적으로 지지할 수 있게 됐다"고 주장했다.

업체 측은 자신들이 중국에서 유일하게 전공정 건식 노광장비를 안정적으로 양산할 수 있다며 핵심 노광장비의 설계·R&D·생산제조·판매·기술서비스 등의 업무를 아우른다고 설명했다.

미중 기술경쟁 격화 속에 미국은 네덜란드 등 동맹국과 함께 극자외선(EUV) 노광장비 및 일부 첨단 심자외선(DUV) 노광장비의 대중국 수출을 제한하고 있으며 이는 중국 반도체 산업 발전의 최대 장애물로 꼽히고 있다.

이에 따라 중국은 국가적 차원에서 반도체 장비 개발에 주력하고 있으며 중국 업체들의 노광장비 관련 발표에도 관심이 집중되고 있다.

지난달에는 다른 중국업체 랑다오쑤이옌(朗道燧岩)이 한 박람회에서 EUV 노광장비의 핵심 부품인 '광원 시스템' 시제품을 선보여 주목받기도 했다.